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Properties and the influences on plasma performance for the film produced by radio frequency boronization/

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자료유형학술지논문
논문명Properties and the influences on plasma performance for the film produced by radio frequency boronization/
저자명Li, J
학술지명Journal of vacuum science & technology.
발행년도2000
권호사항Vol.18 No.6
발행처Published for the Society by the American Institute of Physics
페이지p.2835-2842
언어eng

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No. 권호·제본정보 보기 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호
1 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 621.5505 J86A 구독중단 v.30 no.6

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