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1.
서명
Streaming and removal forces due to second-order sound field during megasonic cleaning of silicon wafers/ 미리보기
저자
Deymier, P A
발행처
American Institute of Physics
원문제공시작년
2000
자료유형
저널기사 저널기사 원문복사 신청
원문제공마감년
2.
서명
STRUCTURAL, MECHANICAL, THERMODYNAMIC, AND OPTICAL PROPERTIES OF CONDENSED MATTER (PACS 61-68, 78) - Theoretical calculation of the acoustic force on a patterned silicon wafer during megasonic cleaning/ 미리보기
저자
Deymier, P A
발행처
American Institute of Physics
원문제공시작년
2000
자료유형
저널기사 저널기사 원문복사 신청
원문제공마감년
1 
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