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검색어[전방일치/ 기사저자명:Chand S.]

총 1건 중 1건 출력

1/1 페이지

제한항목: Chen, J

검색간략리스트

1.

기사제목: Formation of polycrystalline silicon germanium/HfO~2 gate stack structure using inductively coupled plasma etching/
기사저자명: Chen, J
출판사: Published for the Society by the American Institute of Physics
발행년: 2003
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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