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1.
기사제목
Spatial distribution of the absolute densities of CFx radicals in fluorocarbon plasmas determined from single-path infrared laser absorption and laser-induced fluorescence/ 미리보기
기사저자명
Nakamura, Masayuki
출판사
American Institute of Physics
발행년
2001
자료유형
저널기사 저널기사 원문복사 신청
2.
기사제목
Spatial distributions of the absolute CF and CF2 radical densities in high-density plasma employing low global warming potential fluorocarbon gases and precursors for film formation/ 미리보기
기사저자명
Nakamura, Masayuki
출판사
Published for the Society by the American Institute of Physics
발행년
2001
자료유형
저널기사 저널기사 원문복사 신청
1 

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