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[전방일치/ 기사저자명:Park J.]
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Lee, Cheol Jin
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기사제목
"Effects of BCl3 addition on Ar/Cl2 gas in inductively coupled plasmas for lead zirconate titanate etching" (J. Vac. Sci. Technol. A 18,1373 (2000))/
기사저자명
An, Tae-Hyun
출판사
Published for the Society by the American Institute of Physics
발행년
2000
자료유형
저널기사
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