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제한항목: 2001; Published for the Society by the American Institute of Physics

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1.

기사제목: Spatial distributions of the absolute CF and CF2 radical densities in high-density plasma employing low global warming potential fluorocarbon gases and precursors for film formation/
기사저자명: Nakamura, Masayuki
출판사: Published for the Society by the American Institute of Physics
발행년: 2001
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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