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검색어[전방일치/ 기사제목:Addition of N~2 as a polymer deposition inhibitor in CH~4/H~2 electrocyclotron resonance plasma etching of Hg~1~-~xCd~xTe]

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기사제목: Addition of N~2 as a polymer deposition inhibitor in CH~4/H~2 electrocyclotron resonance plasma etching of Hg~1~-~xCd~xTe
기사저자명: Keller, R. C
출판사: American Institute of Physics
발행년: 1980
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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