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검색어[전방일치/ 기사제목:Control of the radio-frequency wave form at the chuck of an industrial oxide-etch reactor/]

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1.

기사제목: Control of the radio-frequency wave form at the chuck of an industrial oxide-etch reactor/
기사저자명: Berry, Lee
출판사: Published for the Society by the American Institute of Physics
발행년: 2000
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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