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검색어[전방일치/ 기사제목:Dissociation reactions of hydrogen in remote plasma-enhanced chemical-vapor-deposition silicon nitride/]

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기사제목: Dissociation reactions of hydrogen in remote plasma-enhanced chemical-vapor-deposition silicon nitride/
기사저자명: Boehme, Christoph
출판사: Published for the Society by the American Institute of Physics
발행년: 2001
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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