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검색어[전방일치/ 기사제목:Electrochemical/Chemical Deposition and Etching - A Numerical and Experimental Investigation of the Influence of Mass Transfer on HF/H2O Vapor-Phase Etching of Silicon Dioxide/]

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기사제목: Electrochemical/Chemical Deposition and Etching - A Numerical and Experimental Investigation of the Influence of Mass Transfer on HF/H2O Vapor-Phase Etching of Silicon Dioxide/
기사저자명: Zhou, J
출판사: Electrochemical Society
발행년: 2000
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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