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검색어[전방일치/ 기사제목:Electron temperature density and metastable-atom density of argon electron-cyclotron-resonance plasma discharged by 7.0 8.0 and 9.4 GHz microwaves/]

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기사제목: Electron temperature, density, and metastable-atom density of argon electron-cyclotron-resonance plasma discharged by 7.0, 8.0, and 9.4 GHz microwaves/
기사저자명: Kawai, Y
출판사: Published for the Society by the American Institute of Physics
발행년: 2000
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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