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검색어[전방일치/ 기사제목:H loss mechanism during anneal of silicon nitride: Chemical dissociation/]

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1.

기사제목: H loss mechanism during anneal of silicon nitride: Chemical dissociation/
기사저자명: Boehme, Christoph
출판사: American Institute of Physics
발행년: 2000
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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