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검색어[전방일치/ 기사제목:High-rate chemical vapor deposition of nanocrystalline silicon carbide films by radio frequency thermal plasma/]

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기사제목: High-rate chemical vapor deposition of nanocrystalline silicon carbide films by radio frequency thermal plasma/
기사저자명: Girshick, S. L. Park, S.; Larson, J. M.; Liao, F. Zachariah, M. R.;
출판사: North-Holland
발행년: 2003
자료유형: 저널기사 원문복사 신청

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