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검색어[전방일치/ 기사제목:Semiconductor Devices Materials and Processing - Effects of Ge Content on the Oxidation Behavior of Poly-Si1-xGex Layers for Gate Electrode Application/]
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기사제목
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Effects of Ge Content on the Oxidation Behavior of Poly-Si1-xGex Layers for Gate Electrode Application/ 미리보기
기사저자명
Ahn, T-H
출판사
Electrochemical Society
발행년
2001
자료유형
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