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검색어[전방일치/ 기사제목:Uniaxial and biaxial strain field dependence of the thermal oxidation rate of silicon/]
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기사제목
Uniaxial and biaxial strain field dependence of the thermal oxidation rate of silicon/ 미리보기
기사저자명
Noma, Hirokazu
출판사
American Institute of Physics
발행년
2001
자료유형
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