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Electrical characterization of MIS capacitors fabricated from ECR-PECVD silicon oxide and silicon nitride bilayer films/ / Duenas, S.; Del Prado, A.; Castan, H. Barbolla, J.; Martil, I.; Gonzalez-Diaz, G. San Andres, E.; / Chapman and Hall / Journal of materials science Materials i / p.287-290 / 2003
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