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Surface Roughness of LPCVD Polysilicon and Its Influence on Overlying Electroless Plated Nickel

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자료유형학술지논문
논문명Surface Roughness of LPCVD Polysilicon and Its Influence on Overlying Electroless Plated Nickel
저자명Roy, S.
학술지명JOURNAL- ELECTROCHEMICAL SOCIETY
발행년도1980
권호사항vol: 144 no: 10 ( 19
발행처Electrochemical Society
페이지3589
언어eng

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No. 권호·제본정보 보기 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호
1 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ 621.3805 J86
2 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 621.3805 J86 구독중단 Vol.158 No.12

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