상세정보
- |Home >
- 상세정보
부가기능
Nitrogen doped fluorinated amorphous carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition for low dielectric constant interlayer dielectrics
기사 상세정보
소장정보
- 소장정보
| No. | 권호·제본정보 보기 | 소장처 | 소장사항 | 청구기호 | 구독 | 최근입수호 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ | 530.5 A652 | 구독중단 | Vol.77 No.26 | ||
| 2 | 중앙도서관/3층 연속간행물실/ | 530.5 A652 | 구독중단 | Vol.77 No.21 | ||
| 3 | 중앙도서관/3층 연속간행물실/ | 530.5 A652 | 기타 |
하단메뉴
