충남대학교 외국학술지지원센터

글로벌메뉴

Heterogeneity in microcrystalline-transition state: Origin of Si-nucleation and microcrystallization at higher rf power from Ar-diluted SiH4 plasma/

상세정보

상세정보
자료유형	학술지논문
논문명	Heterogeneity in microcrystalline-transition state: Origin of Si-nucleation and microcrystallization at higher rf power from Ar-diluted SiH4 plasma/
저자명	Das, Debajyoti
학술지명	Journal of applied physics
발행년도	2001
권호사항	Vol.89 No.5
발행처	American Institute of Physics
페이지	3041-3048p.
언어	eng

메세지가 없습니다
No.	권호·제본정보 보기	소장처	소장사항	청구기호	구독	최근입수호
1		중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/		530.5 J86a
2		중앙도서관/3층 연속간행물실/		530.5 J86a	구독중단	v.112 no.12