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Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Characterization of Gd2O3 Films Deposited on Si(100) by Electron-Beam Evaporation/

상세정보

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자료유형	학술지논문
논문명	Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Characterization of Gd2O3 Films Deposited on Si(100) by Electron-Beam Evaporation/
저자명	Landheer, D
학술지명	Journal of the Electrochemical Society
발행년도	2001
권호사항	Vol.148 No.2
발행처	Electrochemical Society
페이지	G29p.
언어	eng

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