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The characteristics before and after annealing of amorphous silicon films prepared by ECR plasma CVD

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자료유형학술지논문
논문명The characteristics before and after annealing of amorphous silicon films prepared by ECR plasma CVD
저자명Kang, M.
학술지명JOURNAL OF NONCRYSTALLINE SOLIDS
발행년도1980
권호사항vol: 221 no: 1 ( 199
발행처North-Holland
페이지103
언어eng

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No. 권호·제본정보 보기 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호
1 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ 530.05 J86c
2 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 530.05 J86c 구독중단 vol.195 no.1/2

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