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Surface adhesion reduction in silicon microstructures using femtosecond laser pulses

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자료유형학술지논문
논문명Surface adhesion reduction in silicon microstructures using femtosecond laser pulses
저자명Tien, N. C.
학술지명APPLIED PHYSICS LETTERS
발행년도1980
권호사항vol: 68 no: 2 ( 1997
발행처American Institute of Physics
페이지197
언어eng

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1 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ 530.5 A652 구독중단 Vol.77 No.26
2 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 530.5 A652 구독중단 Vol.77 No.21
3 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 530.5 A652 기타

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