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Barrier Effect of TaSiN Layer for Oxygen Diffusion
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자료유형
학술지논문
논문명
Barrier Effect of TaSiN Layer for Oxygen Diffusion
저자명
Hara, T.
학술지명
JOURNAL- ELECTROCHEMICAL SOCIETY
발행년도
1980
권호사항
vol: 143 no: 11 ( 19
발행처
Electrochemical Society
페이지
L264
언어
eng
소장정보
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