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Electrochemical/Chemical Deposition and Etching - Low-Pressure Chemical Vapor Deposition of Semi-insulating Polycrystalline Silicon Thin Films. . I. Experimental Study and Proposal of New Kinetic Laws/

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No. 권호·제본정보 보기 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호
1 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ 621.3805 J86
2 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 621.3805 J86 구독중단 Vol.158 No.12

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