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A Multiscale Elastohydrodynamic Contact Model for CMP/

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자료유형학술지논문
논문명A Multiscale Elastohydrodynamic Contact Model for CMP/
저자명Kim, A. T.
학술지명Journal of the Electrochemical Society
발행년도2003
권호사항Vol.150 No.9
발행처Electrochemical Society
페이지G570-G576p.
언어eng

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No. 권호·제본정보 보기 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호
1 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ 621.3805 J86
2 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 621.3805 J86 구독중단 Vol.158 No.12

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