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Microstructure of ZnO/Cu/TaN/SiO2/Si multilayers prepared by sputter deposition/

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자료유형학술지논문
논문명Microstructure of ZnO/Cu/TaN/SiO2/Si multilayers prepared by sputter deposition/
저자명Wu, W. Y.
학술지명Journal of materials science letters
발행년도2003
권호사항Vol.22 No.22
발행처Chapman and Hall
페이지p.1603-1606
언어eng

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No. 권호·제본정보 보기 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호
1 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ 620.1005 J86a 구독중 Vol.19 No.18
2 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 620.1005 J86a 구독중 Vol.22 No.24

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