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Hybrid data mining approach for pattern extraction from wafer bin map to improve yield in semiconductor manufacturing

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자료유형학술지논문
논문명Hybrid data mining approach for pattern extraction from wafer bin map to improve yield in semiconductor manufacturing
저자명Hsu, S. C.; Chien, C. F.
학술지명International journal of production economics
ISSN0925-5273
발행년도2007
권호사항Vol.107 no.1
발행처Elsevier Science B.V., Amsterdam.
페이지88-103
언어eng

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