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Silicon Nitride Oxidation Based on Oxynitride Interlayers with Graded Stoichiometry

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자료유형학술지논문
논문명Silicon Nitride Oxidation Based on Oxynitride Interlayers with Graded Stoichiometry
저자명Sheldon, B. W.
학술지명JOURNAL- AMERICAN CERAMIC SOCIETY
발행년도1980
권호사항vol: 79 no: 11 ( 199
발행처American Ceramic Society
페이지2993
언어eng

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No. 권호·제본정보 보기 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호
1 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ 666.05 J86
2 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 666.05 J86 구독중 Vol.91 No.9

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