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Hard mask fabrication for magnetic random access memory elements using focused ion beam assisted selective chemical vapor deposition/

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자료유형학술지논문
논문명Hard mask fabrication for magnetic random access memory elements using focused ion beam assisted selective chemical vapor deposition/
저자명Kubota, H.
학술지명Journal of applied physics
발행년도2003
권호사항Vol.93 No.10
발행처American Institute of Physics
페이지8370-8372p.
언어eng

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No. 권호·제본정보 보기 소장처 소장사항 청구기호 구독 최근입수호
1 중앙도서관/3층 연속간행물(보존)/ 530.5 J86a
2 중앙도서관/3층 연속간행물실/ 530.5 J86a 구독중단 v.112 no.12

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