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A Screen Printed Multilayer PZT Actuator with an Integrated Force Sensor
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자료유형
학술지논문
논문명
A Screen Printed Multilayer PZT Actuator with an Integrated Force Sensor
저자명
Moilanen, H.
학술지명
MICROELECTRONICS INTERNATIONAL
ISSN
1356-5362
발행년도
1995
권호사항
no.37
발행처
WELA PUBLICATIONS LTD
페이지
28
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