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1.
서명
Journal of microelectromechanical systems:a joint IEEE and ASME publication on microstructures, microactuators, microsensors, and microsystems 미리보기
저자
Institute of Electrical and Electronics Engineers American Society of Mechanical Engineers
발행처
Institute of Electrical and Electronics Engineers
원문제공시작년
1992-
자료유형
연속간행물 연속간행물 원문복사 신청
원문제공마감년
2.
서명
Journal of vacuum science & technology.B,Microelectronics and nanometer structures 미리보기
저자
American Vacuum Society
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
1991-
자료유형
연속간행물 연속간행물 원문복사 신청
원문제공마감년
1 

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