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24500 ▼a 大韓電氣學會 MEMS 硏究會 學術發表會 論文集/ ▼d 대한전기학회 MEMS 연구회 ; ▼e 마이크로 메카트로닉스 연구회 주최.
260 ▼a 서울: ▼b 대한전기학회 MEMS 연구회, ▼c 1995 - .
300 ▼a 책; ▼c 30 cm.
310 ▼a 연간
3620 ▼a 1995년도(1995)-
710 ▼a 대한전기학회 . ▼b MEMS연구회.
710 ▼a 마이크로 메카트로닉스 연구회.
866 ▼a 225009 ▼b 1995(1995)-1998(1998)
9500 ▼b 가격불명
990 ▼a 육상옥 ▼b 김미정