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제한항목: Vitale, Steven A; Published for the Society by the American Institute of Physics

검색간략리스트

1.

서명: Abatement of C2F6 in rf and microwave plasma reactors/
저자: Vitale, Steven A
발행처: Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년: 2000
자료유형: 저널기사 원문복사 신청
원문제공마감년

2.

서명: Etching chemistry of benzocyclobutene (BCB) low-k dielectric films in F2+O2 and Cl2+O2 high density plasmas/
저자: Vitale, Steven A
발행처: Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년: 2000
자료유형: 저널기사 원문복사 신청
원문제공마감년

3.

서명: ilicon etching yields in F2, Cl2, Br2, and HBr high density plasmas/
저자: Vitale, Steven A
발행처: Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년: 2001
자료유형: 저널기사 원문복사 신청
원문제공마감년

1

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