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1.
서명
Dielectric Science and Materials - Characteristics of TEOS Polysilicon Oxides: Improvement by CMP and High Temperature RTA N2/N2O Annealing/ 미리보기
저자
Chen, J H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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2.
서명
Dielectric Science and Materials - Chemical Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Oxide Films Deposited Using Flowfill Chemical Vapor Deposition Technology/ 미리보기
저자
Cui, H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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3.
서명
Dielectric Science and Materials - Effect of Surface Treatments on the Electrical Properties of Fluorinated Silicon Oxides/ 미리보기
저자
Chang, W J
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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4.
서명
Dielectric Science and Materials - Electrical Properties of SrTiO3/BaTiO3 Strained Superlattice Films Prepared by Atomic layer Mitallorganic Chemical Vapor Deposition/ 미리보기
저자
Wang, Z
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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5.
서명
Dielectric Science and Materials - Hydrogen in Buried SiO2 Layers/ 미리보기
저자
Rev�sz, A G
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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6.
서명
Dielectric Science and Materials - Investigation of the Electrical Properties of Tantalum-Ruthenium Dioxide as a Diffusion Barrier for High Dielectric Capacitors/ 미리보기
저자
Yoon, D-S
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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7.
서명
Dielectric Science and Materials - Low Temperature Chemical Vapor Deposition of ZrO2 on Si(100) Using Anhydrous Zirconium(IV) Nitrate/ 미리보기
저자
Smith, R C
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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8.
서명
Dielectric Science and Materials - Precise Chrome Etching in Downstream Chlorine Plasmas with Electron Depletion Through Negative Ion Production/ 미리보기
저자
Ichiki, T
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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9.
서명
Dielectric Science and Materials - Reliability of Fluorinated Silicon Oxide Film Prepared by Temperature Difference-Based Liquid Phase Deposition/ 미리보기
저자
Yeb, C-F
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
10.
서명
Dielectric Science and Materials - Run-to-Run Evolution of Fluorocarbon Radicals in C4F8 Plasmas Interacting with Cold and Hot Inner Walls/ 미리보기
저자
Oshio, H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
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