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21.
서명
Reduction of etching damage in lead-zirconate-titanate thin films with inductively coupled plasma/ 미리보기
저자
Lim, K.-T
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2003
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22.
서명
Reflection high-energy electron diffraction study of ion-beam induced carbonization for 3C-SiC heteroepitaxial growth on Si (100)/ 미리보기
저자
Tsubouchi, Nobuteru
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2001
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23.
서명
Relation between the ion flux, gas phase composition, and wall conditions in chlorine plasma etching of silicon/ 미리보기
저자
Ullal, S. J
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2003
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24.
서명
Relationship between deprotection and film thickness loss during plasma etching of positive tone chemically amplified resists/ 미리보기
저자
Mahorowala, A P
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2001
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25.
서명
Relationship of etch reaction and reactive species flux in C4F8/Ar/O2 plasma for SiO2 selective etching over Si and Si3N4/ 미리보기
저자
Matsui, Miyako
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2001
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26.
서명
Remote plasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition of TiN from tetrakis-dimethyl-amido-titanium/ 미리보기
저자
Yun, Ju-Young
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2000
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27.
서명
Residual stress formation in multilayered TiN/TaNx coatings during reactive magnetron sputter deposition/ 미리보기
저자
Nordin, M
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
28.
서명
Resonant infrared pulsed-laser deposition of polymer films using a free-electron laser/ 미리보기
저자
Bubb, Daniel M
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2001
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29.
서명
Role of carbon in boron suboxide thin films/ 미리보기
저자
Music, D
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2003
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30.
서명
Role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films/ 미리보기
저자
Holloway, B C
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
31.
서명
Role of molecular diffusion in the theory of gas flow through crimped-capillary leaks/ 미리보기
저자
Bach, H. T
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2003
자료유형
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원문제공마감년
32.
서명
Role of third bodies in friction and wear of protective coatings/ 미리보기
저자
Singer, I. L
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2003
자료유형
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원문제공마감년
33.
서명
The role of feedgas chemistry, mask material, and processing parameters in profile evolution during plasma etching of Si(100)/ 미리보기
저자
Lane, J M
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
34.
서명
The role of oxygen in the intrinsic tensile residual stress evolution in sputter-deposited thin metal films/ 미리보기
저자
Misra, A
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
35.
서명
The role of trapped Ar atoms in the mechanical properties of boron carbide films deposited by dc-magnetron sputtering/ 미리보기
저자
Nastasi, M. Jacobsohn, L. G. Averitt, R. D.;
발행처
Published for the Society by the American Institute of Physics
원문제공시작년
2003
자료유형
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원문제공마감년
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