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1.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Abrasive-Free Polishing for Copper Damascene Interconnection/ 미리보기
저자
Kondo, S
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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2.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - A General Optimization for Slurry Injection during Chemical Mechanical Polishing/ 미리보기
저자
Chou, F-C
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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3.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - A Method to Detect Oxygen Precipitates in Silicon Wafers by Highly Selective Reactive Ion Etching/ 미리보기
저자
Nakashima, K
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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4.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Amorphous CNx layers from Neon Electron Cyclotron Resonance Plasmas with N2 and CH4 as Precursors/ 미리보기
저자
Barbadillo, L
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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5.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Analysis of Epitaxy of Polysilicon Films on Silicon (100) Wafers Deposited with Enlarged Microwave Plasma/ 미리보기
저자
Ryoo, K
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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6.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Analytical Tools for the Characterization of Power Devices/ 미리보기
저자
Schulze, H-J
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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7.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - A New Dummy-Free Shallow Trench Isolation Concept for Mixed-Signal Applications/ 미리보기
저자
Badenes, G
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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8.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Anisotropic Etching of SiC/ 미리보기
저자
Syv�j�rvi, M
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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9.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Annealing of Fowler-Nordheim Stress-Induced Leakage Currents in Thin Silicon Dioxide Films/ 미리보기
저자
Ang, C H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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10.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Aspects of Barium Contamination in High Dielectric Dynamic Random Access Memories/ 미리보기
저자
Boubekeur, H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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11.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Asymmetrical Critical Current Density and Its Influence on Electromigration of Two-Level W-Plug Interconnection/ 미리보기
저자
Huang, J S
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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12.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Characterization of Silicon Wafer Back Sides with Low Thermal Oxide Layers by Copper Deposition/ 미리보기
저자
Schmolke, R
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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13.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Characterization of sub-30 nm p+/n Junction Formed by Plasma Ion Implantation/ 미리보기
저자
Baek, S K
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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14.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Chemical Etching Characteristics of GaAs(100) Surfaces in Aqueous HF Solutions/ 미리보기
저자
Adachi, S
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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15.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Control of Arsenic Doping during Low Temperature CVD Epitaxy of Silicon (100)/ 미리보기
저자
Noort, W D van
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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16.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Depth Effect on the Morphology Change Induced by Hydrogen Annealing of Grown-in Defects in Silicon/ 미리보기
저자
Fujimori, H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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17.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Detection of the Defects Induced by Boron High-Energy Ion Implantation of Silicon/ 미리보기
저자
Hsu, W-C
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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18.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Dishing Effects during Chemical Mechanical Polishing of Copper in Acidic Media/ 미리보기
저자
Luo, Q
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
19.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Dose, Energy, and Ion Species Dependence of the Effective Plus Factor for Transient Enhanced Diffusion/ 미리보기
저자
Hobler, G
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
20.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Effect of Hydrogen on the Structural and Electro-optical Properties of Zinc Oxide Thin Films/ 미리보기
저자
Kang, Y-S
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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