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221.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - The Effect of Copper on Gate Oxide Integrity/ 미리보기
저자
Lin, Y H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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222.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - The Effect of Er Concentration on the Morphology and Photoluminescence of GaN:Er/ 미리보기
저자
Overberg, M E
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
223.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - The Effects of Surface Capping during Annealing on the Microstructure of Ultrathin SIMOX Materials/ 미리보기
저자
Johnson, B
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
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224.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - The Evaluation of Hexafluorobenzene as an Environmentally Benign Dielectric Etch Chemistry/ 미리보기
저자
Chatterjee, R
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
자료유형
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225.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - The Influence of Feature-Scale Surface Geometry on CMP Processes/ 미리보기
저자
Yao, C-H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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226.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - The Mechanism of Si Incorporation and the Digital Control of Si Content during the Metallorganic Atomic layer Deposition of Ti-Si-N Thin Films/ 미리보기
저자
Min, J-S
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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227.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Theoretical Analysis of the Baking Process in Two Polymer/Solvent Systems: PMMA/Anisole and PMDA-ODA/NMIP/ 미리보기
저자
Lin, W-J
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
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228.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Thermal Conditions in Rapid Thermal Processing System Using Circular Infrared Lamp/ 미리보기
저자
Habuka, H
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
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229.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Thermally Induced Si(100)/SiO2 Interface Degradation in poly-Si/SiO2/Si Structures - Evidence for a Hydrogen-Stimulated Process/ 미리보기
저자
Afanas'ev, V V
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
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230.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Thermal Stability of Sputtered Tungsten Carbide as Diffusion Barrier for Copper Metallization/ 미리보기
저자
Wang, S J
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
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231.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - The Sensitivity of Thermal Donor Generation in Silicon to Self-interstitial Sinks/ 미리보기
저자
Voronkov, V V
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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232.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Thin Films of Amorphous Silicon-Carbon Alloy Prepared by Radio-Frequency Magnetron Sputtering/ 미리보기
저자
Maruyama, T
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
자료유형
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233.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Three-Dimensional Chemical Mechanical Planarization Slurry Flow Model Based on Lubrication Theory/ 미리보기
저자
Thakurta, D G
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
자료유형
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234.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Time Evolution of Boron-Doped Crystalline and Polycrystalline Silicon Resistance/ 미리보기
저자
Suzuki, K
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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원문제공마감년
235.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Tin Doping of Silicon for Controlling Oxygen Precipitation and Radiation Hardness/ 미리보기
저자
Claeys, C
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
자료유형
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236.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Transparent Probe Test Structure for Electrical and Physical Characterization of Defects in Thin Films/ 미리보기
저자
Tringe, J W
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2000
자료유형
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237.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Ultraclean Two-Stage Aerosol Reactor for Production of Oxide-Passivated Silicon Nanoparticles for Novel Memory Devices/ 미리보기
저자
Ostraat, M L
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
자료유형
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원문제공마감년
238.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Uniform Nanoscale SiO2 Encapsulation of Zns Phosphors for Improved Aging Properties under Low Voltage Electron Beam Excitation/ 미리보기
저자
Do, Y R
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
자료유형
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원문제공마감년
239.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Use of Selective Anodic Bonding to Create Micropump Chambers with Virtually No Dead Volume/ 미리보기
저자
Veenstra, T T
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
자료유형
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원문제공마감년
240.
서명
Semiconductor Devices, Materials, and Processing - Utilization of Optical Emission Spectroscopy for End-Point Detection during AlGaAs/GaAs and InGaP/GaAs Etching in BCl3/N2 Inductively Coupled Plasmas/ 미리보기
저자
Lee, J W
발행처
Electrochemical Society
원문제공시작년
2001
자료유형
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원문제공마감년
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