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1.
서명
X선 회절에 의한 SiO2/Si 및 poly-Si/SiO2/Si 계면의 응력측정 분석 = 미리보기
저자
임규홍
발행처
忠南大學校 工科大學 産業技術硏究所
원문제공시작년
1995
자료유형
저널기사 저널기사 원문복사 신청
원문제공마감년
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